至純科技：目前濕法設(shè)備在28納米節(jié)點(diǎn)已經(jīng)全覆蓋，且全工藝機(jī)臺均有訂單

至純科技近日接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時表示，公司一直跟動客戶進(jìn)行研發(fā)制造，目前濕法設(shè)備在28納米節(jié)點(diǎn)已經(jīng)全覆蓋，且全工藝機(jī)臺均有訂單，在更先進(jìn)制程節(jié)點(diǎn)也已取得部分工藝訂單。單片硫酸設(shè)備為濕法設(shè)備中難度最高的工藝機(jī)臺，公司S300SPM機(jī)臺已交付給多家國內(nèi)主流晶圓廠，并已經(jīng)應(yīng)用于國內(nèi)頭部客戶的12英寸邏輯量產(chǎn)線，月產(chǎn)能最高可達(dá)6萬片次以上。單設(shè)備在用戶量產(chǎn)線上的累計(jì)產(chǎn)量已超過20萬片次，是為高階濕法設(shè)備國產(chǎn)替代進(jìn)口的重要里程碑。目前公司是國內(nèi)單片硫酸設(shè)備達(dá)到上述單機(jī)臺量產(chǎn)指標(biāo)的唯一廠商。