近日，由河北大學牽頭申報的“第四代半導體材料AlScN”項目，成功獲批2024年國家重點研發(fā)計劃“顛覆性技術(shù)創(chuàng)新”重點專項。該專項旨在面向經(jīng)濟主戰(zhàn)場、面向國家重大需求、面向人民生命健康找方向、找問題，面向世界科技前沿找方法、找答案，開放式選拔、體系化培育戰(zhàn)略價值突出、技術(shù)突破顯著的顛覆性技術(shù)，對主流技術(shù)進行跨越式革新或?qū)Α盁o人區(qū)”進行開創(chuàng)性探索，搶先機、開賽道、占高地，催生新產(chǎn)業(yè)、新模式、新動能，發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力。

作為全球新興的半導體關(guān)鍵材料，摻鈧氮化鋁（AlScN）因其優(yōu)異的極化特性和寬禁帶特性，成為新一代高頻高功率電子器件的核心材料。該項目的實施，將重點攻克高質(zhì)量外延生長、界面優(yōu)化、極限加工工藝等關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，推進新型半導體制造設備的自主研發(fā)，實現(xiàn)AlScN材料及器件的自主可控，填補國內(nèi)空白，構(gòu)建從基礎研究到核心技術(shù)突破的全鏈條創(chuàng)新體系，促進區(qū)域科技資源深度融合，為推動我國半導體產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新，增強全球市場競爭力提供有力支撐。